新款微型壓力傳感器采用了MEMS技術


　　從地下750米的深處到珠穆朗瑪峰頂端，智能手機以及其它便攜設備在不久的未來將能夠確定所在位置的海拔高度變化，全球最大的消費電子和便攜設備MEMS傳感器供應商意法半導體以最新推出的MEMS（微機電系統(tǒng)）壓力傳感器成功地實現(xiàn)這個概念。


　　新產(chǎn)品LPS001WP是一款微型壓力傳感器，采用創(chuàng)新的傳感技術，能夠精確地測量壓力和海拔高度。該產(chǎn)品采用超輕巧、薄型封裝，特別適用于智能手機、運動型手表、各種不同的便攜設備、氣象站，以及汽車和工業(yè)應用。


　　意法半導體MEMS、傳感器以及高性能模擬產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vina表示：“MEMS技術讓我們不斷地開發(fā)出可測量各種物理參數(shù)的新一代傳感器產(chǎn)品，例如線性運動傳感器、角動作傳感器、壓力傳感器以及磁力傳感器等；同時，這些創(chuàng)新產(chǎn)品的制造成本不斷地降低，測量精密度也相對不斷地提高。這些傳感器的用途廣到遠遠超出了我們的想象?！?br />

　　這款產(chǎn)品的首要目標應用之一是進階型的便攜式PS定位設備，傳統(tǒng)的PS定位功能只能確定設備的2D位置。在整合LPS001WP壓力傳感器后，同一款設備將能提供精確的3D定位功能；舉例來說，當整合壓力傳感器的PS導航手機發(fā)送緊急求助呼叫時，消防人員、醫(yī)療救護人員或警察人員將能根據(jù)接收到的呼叫信號確定事故發(fā)生的具體所在位置和樓層。


　　LPS001WP的壓力檢測量程從300毫巴至1100毫巴，相當于從-750米到+9000米海拔高度之間的氣壓，可檢測到最小0.065毫巴的氣壓變化，相當于80厘米的海拔高度。該產(chǎn)品采用意法半導體獨有的VENSENS制程，能夠將壓力傳感器整合在單一晶片上，不但可以節(jié)省晶圓對晶圓的鍵合工序，還可最大幅度地提升產(chǎn)品的可靠性。


　　LPS001WP內(nèi)的壓力傳感器是通過覆蓋在氣腔上的柔性硅薄膜檢測壓力變化（其中氣隙是可控制的，壓力也已經(jīng)定義）。與傳統(tǒng)的硅微加工薄膜相比，新產(chǎn)品的薄膜非常小，內(nèi)建的微機械止動結構可防止氣壓破壞薄膜。這個薄膜包括電阻值隨著外部壓力變化而改變的微型壓電電阻器。壓力傳感器監(jiān)控硅薄膜電阻的變化，采用溫度補償方法修正變化偏差，把檢測到變化信息轉換成二進制比特數(shù)據(jù)，通過工業(yè)標準I2C或SPI通信接口將數(shù)據(jù)傳送至設備主處理器。


　　LPS001WP的主要技術特性：


　　? 0.065毫巴的高分辨率：能夠檢測最小80厘米的海拔高度變化；

　　? 意法半導體獨有的VENSENS技術，擁有高耐破裂強度，最高強度值達全量程的20倍；

新款微型壓力傳感器采用了MEMS技術

　　? 內(nèi)置溫度傳感器，可調(diào)整溫度范圍；


　　? 所有器件均在晶圓廠完成壓力和溫度校準，無需在出貨前進行；


　　? 采用小型塑膠基板柵格陣列：HCLA-8L封裝，該封裝上有一個通風孔，外部壓力通過封裝上的通風口與傳感元件接觸；以大規(guī)模低成本的應用為目標市場，意法半導體的MEMS傳感器擁有從晶圓加工到封裝測試的完整制造供應鏈優(yōu)勢。 LPS001WP是不斷成長的意法半導體MEMS傳感器系列的最新產(chǎn)品。


精密壓力計和壓力傳感器


公司進一步豐富其精密壓力校準產(chǎn)品線，推出新款700系列精密壓力計和兩款新型壓力傳感器：FLUKE719PRO和721雙量程壓力傳感器。量程從0.36至10,000 PSI，具有18種不同的工程單位可選，允許用戶對儀表進行定制，以滿足客戶各種特殊的壓力校準需求。從此，儀器儀表、過程及工廠維護技術人員能夠擁有完備的校準設備，堅固耐用、值得信賴。
700系列精密壓力計的壓力量程為10 inH20/20 mbar 至 10,000 psi/690 bar，0.05%的新絕壓測量準確度，以及新參考級表壓測量準確度達0.04%。700系列精密壓力計與Fluke 700PTPK或700HTPK配合使用時，即可實現(xiàn)完備的壓力測試解決方案，使用PTP-1氣壓泵時壓力可達600 psi (40 bar)，使用HTP-2液壓泵時壓力高達10,000 psi (690 bar)?，F(xiàn)在，F(xiàn)luke 700系列精密壓力計提供三年質(zhì)保。


719Pro自動壓力傳感器是校準高準確度變送器、壓力開關和壓力計的理想測試工具。719Pro具有高準確度壓力測量功能以及內(nèi)置電動壓力泵，可產(chǎn)生高達300 psi (20 bar)的壓力，無需外部手操泵。該校準器還可測量、模擬和輸出4-20 mA環(huán)路電流信號，也可測量高達30 V直流電壓。其內(nèi)置24 V環(huán)路電源可為被測變送器供電。

Fluke 721雙量程壓力傳感器帶有兩個隔離的壓力傳感器，使技術人員能夠利用一款工具同時進行靜壓和差壓測量，支持氣體貿(mào)易結算應用。配置該校準器時，可選擇16 psi (1.1 bar)或36 psi (2.48 bar)低壓傳感器，然后從7種高壓量程中進行選擇，包括：100、300、500、1000、1500、3000或5000 psi (6.9、20、24.5、69、103.4、200、345 bar)。

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